（19）中华人民共和国国家知识产权局（12）实用新型专利（10）申请公布号CN205564718U（43）申请公布日2016.09.07（21）申请号CN2.1（22）申请日2016.04.12（71）申请人上海微松工业自动化有限公司地址201112上海市闵行区新骏环路188号15-102（72）发明人刘劲松;邱进军;郭俭（74）专利代理机构上海科盛知识产权代理有限公司代理人（51）Int.CI权利要求说明书说明书（54）发明名称一种全自动植球机（57）摘要本实用新型涉及一种全自动植球机，其包括架kaiyun网站台、网板、供球机构、六自由度机械手、刮板及三维力传感器，网板通过网板夹持机构固定于架台上，所述的网板上设有与晶圆PAD点相对应的网孔，供球机构向网板上供应锡球；六自由度机械手为刮板动作的驱动机构，用于模仿手工植球方式，刮板设在六自由度机械手末端，受六自由度机械手带动而进行植球动作，三维力传感器设在六自由度机械手末端与刮板之间，用于检测植球过程中刮板的受力突变，并将刮板受力信息传递给六自由度机械手。与现有技术相比，本实用新型的植球机采用六自由度机械手，模仿人工植球动作，使植球动作更柔性、平稳，在工厂大批量生产情况下，稳定的植球质量可以得到保法律状态法律状态公告日法律状态信息法律状态2016-09-07授权授权2016-09-07授权授权2018-07-10避免重复授权放弃专利权避免重复授权放弃专利权权利要求说明书一种全自动植球机的权利要求说明书内容是....请下载后查看说明书一种全自动植球机的说明书内容是....请下载后查看