kaiyun网站知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。作为国家级图书、期刊、电子、网络出版单位，知识产权出版社是全国文化体制改革先进单位、国家一级出版社、全国百佳图书出版单位、国家数字出版转型示范单位、中国专利文献法定出版单位。2013年12月，知识产权出版社完成公司化改制，更名为知识产权出版社有限责任公司，为国务院出资的中央文化单位。

　　(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 9.9(22)申请日 2016.04.12(65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 105789095 A(43)申请公布日 2016.07.20(73)专利权人 上海微松工业自动化有限公司地址 201112 上海市闵行区新骏环路188号15-102(72)发明人 刘劲松郭俭张应伍谢旭波林金木(74)专利代理机构 上海科盛知识产权代理有限公司 31225代理人 褚明伟(51)Int.Cl.H01L 21/67 (2006.01)H01L 21/60 (2006.01)(56)对比文件CN 101604618 A,2009.12.16,JP 特开 A,2010.09.24,CN 101996907 A,2011.03.30,US 2012/0031954 A1,2012.02.09,CN 205564718 U,2016.09.07,审查员 张志芳 (54)发明名称一种全自动植球机及其植球方法(57)摘要本发明涉及一种全自动植球机及植球方法。全自动植球机包括架台、网板、供球机构、六自由度机械手、刮板及三维力传感器，网板通过网板夹持机构固定于架台上，所述的网板上设有与晶圆PAD点相对应的网孔，供球机构向网板上供应锡球；六自由度机械手为刮板动作的驱动机构，用于模仿手工植球方式，刮板设在六自由度机械手末端，受六自由度机械手带动而进行植球动作，三维力传感器设在六自由度机械手末端与刮板之间，用于检测植球过程中刮板的受力突变，并将刮板受力信息传递给六自由度机械手。与现有技术相比，本发明的植球机采用六自由度机械手，模仿人工植球动作，使植球动作更柔性、平稳，在工厂大批量生产情况下，稳定的植球质量可以得到保障。权利要求书1页 说明书5页 附图5页CN 105789095 B2018.06.29CN 105789095 B

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